[PDF]Advanced MEMS/NEMS Fabrication and Sensors

Bibliographic Information

Book Title: Advanced MEMS/NEMS Fabrication and Sensors
Editors: Zhuoqing Yang
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-030-79749-2
Publisher: Springer Cham
eBook Packages: Engineering, Engineering (R0)
Copyright Information: Springer Nature Switzerland AG 2022
Hardcover ISBN: 978-3-030-79748-5Published: 13 October 2021
Softcover ISBN: 978-3-030-79751-5Published: 13 October 2022
eBook ISBN: 978-3-030-79749-2Published: 12 October 2021
Edition Number: 1
Number of Pages: VI, 312
Number of Illustrations: 10 b/w illustrations, 157 illustrations in colour

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