[PDF]Data-Driven Scheduling of Semiconductor Manufacturing Systems

Bibliographic Information

Book Title: Data-Driven Scheduling of Semiconductor Manufacturing Systems
Authors: Li Li, Qingyun Yu, Kuo-Yi Lin, Yumin Ma, Fei Qiao
Series Title: Advanced and Intelligent Manufacturing in China
DOI: https://doi.org/10.1007/978-981-19-7588-2
Publisher: Springer Singapore
eBook Packages: Engineering, Engineering (R0)
Copyright Information: Chemical Industry Press 2023
Hardcover ISBN: 978-981-19-7587-5Published: 21 May 2023
Softcover ISBN: 978-981-19-7590-5Due: 04 June 2024
eBook ISBN: 978-981-19-7588-2Published: 20 May 2023
Series ISSN: 2731-5983
Series E-ISSN: 2731-5991
Edition Number: 1
Number of Pages: XI, 266
Number of Illustrations: 43 b/w illustrations, 41 illustrations in colour

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